無(wú)塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗

一、無(wú)塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、風(fēng)淋室與傳遞窗能把無(wú)塵潔凈室內(nèi)的細(xì)菌之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)建成的無(wú)塵潔凈房間。

二、無(wú)塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗的原理。潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗是用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了風(fēng)淋室與傳遞窗還有高效過(guò)濾器和高效送風(fēng)口，潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須采用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

三、無(wú)塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗中的三塵。無(wú)塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的更好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無(wú)塵潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車(chē)間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

四，無(wú)塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵潔凈室。按照慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分所以風(fēng)淋室與傳遞窗達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵室所用的風(fēng)淋室與傳遞窗并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，還需要加FFU過(guò)濾單元和高效送風(fēng)口而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然風(fēng)淋室與傳遞窗這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

五、風(fēng)淋室與傳遞窗對(duì)無(wú)塵潔凈室每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

無(wú)塵潔凈室風(fēng)淋室與傳遞窗基本常識(shí)：

人流出入潔凈區(qū)必須按以下程序和要求進(jìn)行。

人進(jìn)-------換鞋-----脫外衣------洗手------穿潔凈服-------手消毒-------風(fēng)淋室；潔凈區(qū)------出門(mén)口------脫潔凈服-------穿外衣-----換鞋-------人出消毒液的配制由負(fù)責(zé)人管理，采用0.3?消毒液進(jìn)行消毒。

物流進(jìn)入潔凈區(qū)必須按以下程序和要求進(jìn)行：

物品-----脫外包裝室-----風(fēng)淋傳遞窗------潔凈區(qū)-------雙層流傳遞窗------包裝貨淋室進(jìn)入潔凈區(qū)的零件及原輔材料，必須脫外包裝經(jīng)雙層傳遞窗，生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品需經(jīng)包裝封口后從傳遞窗流出；每天下班后，操作工做好工作臺(tái)面，地面，凳子的清潔工作，每周墻壁頂棚清潔一次，并填寫(xiě)“潔凈車(chē)間衛(wèi)生記錄”。